低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利昂（áng）類、哈隆類物質的分（fèn）解處理，後延伸（shēn）至工業惡臭、異味。

低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放（fàng）電形式產生等離子體，所產生（shēng）等離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物（wù）質的（de）分解處理，後延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。

該技術節能、環保，應用範圍廣，所有化工生產環節產生的（de）惡臭（chòu）異味幾乎都可以處（chù）理，並對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣（qì）處理技術已研製出標準化廢氣（qì）治理設備，利用所產生的（de）電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解（jiě）工業廢氣中的各組成份，使之（zhī）發生分解，氧（yǎng）化等一些列複雜的化學反應，再經過（guò）多級淨化，從而消（xiāo）除各種汙染（rǎn）源排放的異（yì）味、臭味汙染物，使（shǐ）有毒有（yǒu）害氣體達到低毒化，保（bǎo）護人類生存環境。由於（yú）其對汙染物分子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理（lǐ）開辟了一條新（xīn）的思路。

作用原理：

低溫等離子體是繼固（gù）態、液態、氣態之後的物質第四（sì）態，當外加電壓（yā）達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程（chéng）中（zhōng）雖然電（diàn）子（zǐ）溫度（dù）很高（gāo），但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子（zǐ）體。

低溫等離子體降解（jiě）汙（wū）染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作（zuò）用，使汙染物分（fèn）子在極短的時間內發生分解，並（bìng）發生後續的各種反應以（yǐ）達到降解汙染物的目的（de）。（注：低溫（wēn）等離（lí）子體相對於高溫（wēn）等離子體而言，屬於常溫運行。）

等離子體反應區富含（hán）物質，如電子（zǐ）、離子、自由基和激發態分子（zǐ）等，廢氣中的汙染物質可與這些具有較量的物質發生（shēng）反應（yīng），使汙染物質在極短的（de）時間內發（fā）生分（fèn）解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染（rǎn）物的（de）目的。