低溫等離子廢氣處理技術（shù），采用雙介質（zhì）阻（zǔ）擋放電（diàn）形式產生等離子體（tǐ），所產生等離子體（tǐ）的密度大，初用（yòng）於（yú）氟利昂類、哈隆類物質的分解處（chù）理，後（hòu）延伸至工業惡臭（chòu）、異味。

低溫（wēn）等離子廢氣處理技術（shù），采（cǎi）用雙介質阻擋放電形式產生等（děng）離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，後延伸至（zhì）工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。

該技術（shù）節能、環保，應（yīng）用範圍廣，所（suǒ）有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術（shù）已研製出標準化廢氣治（zhì）理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複雜的（de）化（huà）學反應，再經過多級淨化，從而消除各種（zhǒng）汙染（rǎn）源排放的異味、臭味汙染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生存環境。由於其對（duì）汙染物分子的分解（jiě）且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理（lǐ）開辟了一條新的思路。

作用原（yuán）理：

低溫等離（lí）子體是繼固態、液態、氣態（tài）之後的物質第四態，當外加電壓（yā）達到氣體的放電電（diàn）壓（yā）時，氣體被擊穿，產生包括電子（zǐ）、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖（suī）然（rán）電子溫度很（hěn）高，但重（chóng）粒子溫度很低，整個體係呈（chéng）現低溫狀態，所以稱為低溫等（děng）離子體。

低溫等離子體降解汙染物是利用這些電（diàn）子、自由基等活性粒子和廢（fèi）氣中（zhōng）的汙染物作（zuò）用，使汙染物分子在（zài）極短的時間內（nèi）發（fā）生分解，並（bìng）發生後續的各種反應（yīng）以達到降（jiàng）解汙染物的目的。（注：低溫等離（lí）子體相對（duì）於高溫等離子體而言，屬於常溫運行。）

等離子體反應區富含物質，如電子（zǐ）、離（lí）子、自由基和激發態（tài）分子等，廢氣中的汙染（rǎn）物質可與這些具有較量的（de）物質發生反應，使汙染物質在（zài）極短的時間內發生分解，並發生後續的各種反應以（yǐ）達（dá）到降解汙染物的目的。