低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電（diàn）形式產生等（děng）離子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利（lì）昂類、哈隆類物質的分解處理，後延伸至工業惡臭、異味。

低溫等（děng）離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離（lí）子體，所產生等離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物質（zhì）的分解處理，後延伸至（zhì）工業惡臭、異味（wèi）、有毒有害氣體（tǐ）處理。

該技術節能、環保，應用範圍廣，所有化工生產環節產（chǎn）生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英有良好的（de）分解效果。

等離子體工業（yè）廢氣處（chù）理技術已研製出標準化廢氣治理設備，利用所產生的電子（zǐ）、自由基等活性粒子激（jī）活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複雜的化學反應，再經過多級淨化，從而消除各種汙染源排放的異味（wèi）、臭味汙染物，使有毒有害氣體達到（dào）低毒化，保（bǎo）護人類生存環境。由於其對汙染物分子的分解且（qiě）處理能耗低等（děng）特點，為工業廢氣（qì）的處理開辟了一條新的（de）思路。

作用原理：

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之後的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在（zài）內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重（chóng）粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體（tǐ）。

低溫等離子體降解（jiě）汙染物是利用這些電子、自（zì）由基等活性粒子和廢氣中的（de）汙染物作用，使汙染物分子（zǐ）在極短的時間內發（fā）生分解，並發生後續的各種（zhǒng）反應以達到降解汙染物的目的。（注：低溫等離子體相對於高溫等離子體（tǐ）而言，屬於常溫運行。）

等離子體反（fǎn）應區富含物質，如電子、離子、自由（yóu）基和激發態分（fèn）子等，廢氣中的汙染物質可與這些（xiē）具有較量的物質發生反應，使汙染物質在極短的時間內發生分（fèn）解，並發生後（hòu）續的各種反應以達到降解汙染物的目的（de）。