低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放（fàng）電形式產生等離子體，所產生等離子體的（de）密度大，初用於氟利昂類、哈隆類物質（zhì）的分（fèn）解（jiě）處理，後延（yán）伸至工業惡臭、異味。

低溫等（děng）離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產（chǎn）生等離（lí）子體（tǐ），所產（chǎn）生等（děng）離子體的密度大（dà），初用於氟利昂類、哈隆（lóng）類物質的分解（jiě）處理，後延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。

該技術節能、環保，應用範（fàn）圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭（chòu）異味（wèi）幾乎都可以處理，並對二惡英有良好的分解（jiě）效果。

等離子體工業廢氣處理技術（shù）已研製出標準化廢（fèi）氣治理（lǐ）設備，利用所產（chǎn）生的電（diàn）子（zǐ）、自由基等活性粒子激活（huó）、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複（fù）雜的化學反應，再經過多（duō）級淨化，從（cóng）而消除各種汙染源排放的異（yì）味、臭（chòu）味汙染物，使有毒有害氣體達（dá）到低毒化，保護人類生存（cún）環境。由於其對汙染物分（fèn）子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。

作用原理：

低溫等離子體是繼固態（tài）、液態、氣（qì）態（tài）之後的物（wù）質第（dì）四態（tài），當（dāng）外加電壓（yā）達到氣體的放電（diàn）電壓時，氣體被擊穿，產生包括（kuò）電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電（diàn）子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體係（xì）呈現低溫狀態（tài），所以稱為低溫等離子體（tǐ）。

低溫等離子體降解汙染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和（hé）廢氣中的汙（wū）染物作用，使汙染物分子在極短的時間內發生分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物的目（mù）的。（注：低溫等離子（zǐ）體相（xiàng）對（duì）於高溫等離子體而言，屬（shǔ）於常溫運行。）

等離子體反應區富（fù）含物質，如電子、離（lí）子、自由基和激發態分子等，廢氣（qì）中的汙染物質（zhì）可與這些具有（yǒu）較量的（de）物質發生反應，使汙（wū）染物質在極（jí）短的時間內發生分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物的目的。